本文研制了砷化镓衬底的共面波导校准件,优化设计了寄生模式抑制结构。基于MATLAB开发平台编写了LRM和TRL校准方法的校准软件,并对传输线和衰减器进行校准,最后与美国NIST开发的多线TRL(MTRL)校准技术软件的结果进行对比。结果显示在100MHz~50Ghz频段范围内,传输幅度最大偏差0.1d B,验证了设计的校准元件的可行性。添加了寄生模式抑制结构的曲线相较于无抑制结构的校准结果更平滑,验证了新结构降低寄生耦合的作用。