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摘要
为降低多种因素影响导致的精密光学元件表面缺陷面积测量结果不稳定性的问题，研究基于光谱技术的精密光学元件表面缺陷面积测量方法。选取精密光学元件钕玻璃板为测试样品，搭建多光谱冠层成像仪装置测量台，选择指定样品表面缺陷图像光谱并将其融合，由指定波段的光谱图像分量构成样品表面缺陷图像，重构多光谱图像，通过光线跟踪算法获取样品表面缺陷面积测量结果。实验分析可知：光谱波段范围为365 nm～550 nm范围内，可保证最佳测量结果，并且测量过程中激光发射角度控制在50°以内，可保证光谱仪对样品表面缺陷面积的测量准确性，测量控制点大小对于样品表面缺陷面积的测量准确性影响较小，可忽略不计。
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单位萍乡学院; 电子工程学院
