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摘要
根据伺服系统高精度、高可靠性的测量需求,研制一种背压式硅压阻压差传感器。传感器基于硅的压阻效应,与目前硅压阻压差传感器使用薄膜隔离式敏感芯体不同,其感压芯片的背部直接接触被测介质感受压力,避免了硅油介质传递压力。因此,敏感芯体结构简单可靠,提高了传感器长期承压的可靠性。介绍背压式硅压阻压差传感器的原理及设计与实现,主要包括芯体设计、电路设计、结构设计等。传感器通过性能试验以及环境适应性试验的考核,并在伺服系统上进行相关试验,结果证明能够满足伺服系统使用要求。
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单位北京精密机电控制设备研究所
