为满足微电子器件在极端环境中的服役要求，提升镍基合金薄膜镀层在工业应用中的耐蚀性，采用电沉积的方法得到单层及多层镍钨合金薄膜，研究了多层镀层对镍钨镀层耐蚀性能的影响。结果表明：在相同镀层厚度条件下，采用多层镍钨合金沉积方式能够提升镀层的耐蚀性能，为改善镀层耐蚀性能提供了一种方便而有效的途径。
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