钛酸锶单晶体生长工艺研究

作者:邢彩凤; 毕孝国*; 孙旭东
来源:人工晶体学报, 2019, 48(05): 817-821.
DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2019.05.007

摘要

使用数控焰熔法晶体生长炉生长钛酸锶单晶体,研究了气体参数、生长速度和退火工艺参数对晶体生长的影响。在氢氧比为2. 5,等径生长速度保持在10 mm·h-1,生长出了直径26 mm、等径长度20 mm、总长40 mm的钛酸锶单晶体,然后经过1550℃×72 h+1000℃×20 h+600℃×24 h的退火,消除钛酸锶单晶体的热应力和氧空位,得到完整的高品质的单晶体。偏光显微镜测试表明,晶体具有很好的完整性。

  • 单位
    环境与化学工程学院; 沈阳工程学院; 大连大学

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