激光诱导击穿光谱微区分析的研究应用进展

作者：孙兰香^*; 汪为; 田雪咏; 张鹏; 齐立峰; 郑黎明

来源：Chinese Journal of Analytical Chemistry, 2018, 46(10): 1518-1527.

DOI：10.11895/j.issn.0253-3820.181150

• 激光诱导击穿光谱
• 微区分析
• 烧蚀弹坑
• 偏析
• 评述

激光诱导击穿光谱微区分析通常是指利用紧聚焦激光束在微米尺度范围对样品表面进行分析的技术。相比于常规激光诱导击穿光谱分析,微区分析可以在更小范围、更少样品的情况下提供更加被分析样品丰富的形态、结构、含量信息,因而应用领域广泛。本文介绍了激光诱导击穿光谱微区分析在激光源选择以及光路系统结构方面的应用状况,综述了其在金属、半导体、动植物等领域的应用研究进展,讨论了目前存在的问题,对发展前景和发展方向进行了展望。

• 单位
  新松机器人自动化股份有限公司; 中国科学院大学; 中国科学院沈阳自动化研究所