AMHS在集成电路产业的发展趋势分析

作者：Shanghai New Chuangda Technology Corporation

来源：电子工业专用设备, 2018, 47(03): 4-6.

• 自动物料搬运系统
• 空中走行式无人搬送车
• 空中走行式穿梭车

阐述了AMHS技术在集成电路制造产业的发展历程,并结合AMHS系统的优势和国内外技术现状,通过分析国内集成电路产业的发展趋势,认为开发适用于国内集成电路生产厂家的AMHS系统是未来AMHS系统的一个发展趋势。