基于SOI原理的特种车辆用压力传感器的研制

作者：金琦; 孙晓峰; 李广恒; 李斌; 王静

来源：电子世界, 2019, (21): 147-148.

DOI：10.19353/j.cnki.dzsj.2019.21.076

<正>1.引言车辆发动机进气歧管内压力,通过专用的压力传感器测量,并通过放大电路将其转换成标准电压信号,传输到车辆控制系统,从而达到控制喷油量的作用,保证发动机正常工作。该压力传感器的核心芯片采用SOI材料,利用微电子技术和集成电路工艺结合制作,并且静态性能和温度性能均满足产品技术要求;在产品结构方面,采用全固态、硬密封、小型化设计,使产品满足特种车辆高强度环境适应性的要求。

• 单位
  沈阳仪表科学研究院有限公司