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摘要
本发明专利公开了一种基于低相干干涉的深孔表面形貌测量系统,包括检测部分以及自准直系统,检测部分包括所述白光干涉系统,具体为依次设置的1550nmASE宽带光源、第一反射镜、第一分束棱镜、第二反射镜、参考反射镜,第一分束棱镜的两侧分别设置有待测深孔、近红外相机,待测深孔内设置有锥形棱镜；自准直系统设置在待测深孔与第一分束棱镜之间,自准直系统包括依次设置的630nm光源、二向色棱镜、第二分束棱镜、第三反射镜、四象限探测器。本发明可实现对深孔表面形貌的一次性扫描,多次测量通过四步相移算法、拼接算法和对齐算法得出测量结果,实现表面三维形貌的重构。在装置中设计自准直系统,可以测出杆件水平放置时偏摆所产生的误差并进行误差补偿。
- 单位
