用于角位移补偿的新型XYθ微动定位平台

作者：邱迁; 关均铭; 郭晓晖; 汤晖

来源：机械工程与自动化, 2018, (05): 38-42.

• 3-RRR微动平台
• 运动规律
• 有限元分析

设计了一个新颖的三自由度微动定位平台,用于补偿现有宏定位平台的定位误差。通过柔性铰链柔度公式计算出放大比,用ANSYS仿真软件分析出机构的固有频率,通过一些开环实验得到的数据可以证明该3-RRR微动平台具有较好的性能。

• 单位
  广东工业大学