全光纤声光调制粗糙度相关测量技术研究

作者：张守宇; 王辉林^*; 秦正健; 宋华峣; 曹泉泉

来源：激光杂志, 2020, 41(02): 25-28.

DOI：10.14016/j.cnki.jgzz.2020.02.025

• 光纤
• 激光技术
• 声光调制
• 互相关处理
• 不确定度

表面粗糙度对机件的性能有直接影响,为了实现对其高精度、高分辨力的非接触测量,提出了全光纤声光调制的粗糙度相关测量技术。应用外差激光多普勒测量原理,提高了测量的准确性。单模光纤作为传输介质并在测量系统中采用多种耦合技术,保证了传输的可靠性。通过理论推导,建立数学模型。对接收信号采取互相关函数累计减少误差的处理方法,提高了输出信噪比和测量精度,通过对比测量得到相对误差为0. 068 8%的测量结果,实现了纳米级测量。结果表明,系统的不确定度小于0. 1%,与传统的粗糙度测量方法相比,解决了诸多问题。

• 单位
  山东理工大学