ULVAC IH-860DSIC注入机系统解析

作者：王振亚; 徐磊; 吴文涛

来源：电子工业专用设备, 2017, 46(01): 19-25.

• 离子注入
• 离子源
• 离子源加热静电吸盘
• 法拉第系统 Ion implantation
• Ion source
• ESC and HP
• Faraday system

介绍ULVAC IH-860DSI注入机系统的特点及其原理,在介绍其设备的基础上,着重分析这款注入机系统几个重要和特别的组成部分。根据多年的注入机设备维护经验,总结归纳ULVAC IH-860DSI注入机系统的优点和缺点。