摘要
冶金硅氢氯化流化床是目前多晶硅生产工艺中实现四氯化硅(silicon tetrachloride, STC)循环利用的关键反应器。基于MP-PIC方法建立了冶金硅氢氯化流化床反应器模型。模型中反应源项采用总包反应动力学进行计算。在网格以及计算颗粒包含的真实颗粒数量无关性检验的基础上,对反应器内三氯氢硅(trichlorosilane,TCS)初始浓度进行了无关性检验。模型验证结果表明,模拟结果与实验值符合良好。反应器特征分析结果表明:TCS产率受化学平衡与气固两相流动因素共同控制;反应器操作压力对TCS产率的影响较小;提高进口H2/STC摩尔比,可以提高TCS产率但会降低H2的转化率。
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单位华东理工大学; 化学工程联合国家重点实验室