刻划光栅刻线弯曲误差在线修正技术研究

作者：杨超; 周鹏; 周润森; 高旭; 薛常喜^*

来源：应用光学, 2019, 40(04): 658-662.

• 刻划光栅
• 测量光路
• 刻线弯曲
• 刻划误差

刻划光栅存在刻线弯曲误差,将直接影响光栅的衍射波前质量。通过构建光栅刻线弯曲误差与衍射波前的映射关系,搭建了光栅刻线弯曲误差的实时测量光路,论述了光栅刻划机主动控制技术原理,将光栅刻划机主动控制技术用于光栅刻线弯曲误差的在线补偿。通过对比光栅刻划实验验证该方法的可行性。上述方法能够准确提取并有效补偿光栅刻线弯曲误差,将光栅衍射波前由0.074λ提高到0.038λ,提高了48.6%,同时有效地解决了光栅表面弯曲问题。其研究结果可用于提高机械刻划光栅质量,具有重要的理论及应用价值。

• 单位
  长春理工大学