基于光杠杆原理的纳米级微位移测量系统研究

作者：张攀峰; 吴宇; 刘晓旻; 杨国光

来源：光学仪器, 2006, 28(02): 61-65.

DOI：10.3969/j.issn.1005-5630.2006.02.013

• 光杠杆
• 纳米检测
• PSD
• MEMS optical lever
• nanometer displacement measurement
• MEMS

介绍了一种基于光杠杆原理的光学微位移测量系统。该系统的理论分辨力为4nm,实验测得系统分辨力小于10nm。经过实验,验证了该系统的可行性。实验结果表明,该装置灵敏度及重复性好,结构简单,便于构成微电子机械系统——M EM S(m icro electrom echan ical system s),实现系统微型化及自动化。

• 单位
  现代光学仪器国家重点实验室; 浙江大学