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摘要
为了实现液相中氢气体积分数的准确检测，该文利用钯、氧化硅超疏水溶胶和倾斜光纤光栅制备了氢气传感器。首先，在倾斜光纤光栅表面采用磁控溅射法涂覆了一层致密的钯膜，用于响应氢气体积分数变化信息；然后，采用镀膜提拉法在钯膜表面涂覆一层氧化硅超疏水膜，用于阻止水分子进入钯膜内部，导致钯膜从光纤表面脱落，进而增强了传感器在液相环境下运行的稳定性。实验研究了钯膜厚度对传感器氢敏响应特性的影响，并利用传感器对液相中的氢气体积分数进行了检测。研究结果表明，传感器能准确响应液相中氢气体积分数的变化信息，当钯膜厚度为120 nm时，灵敏度达到-15.29 pm/%,最大相对误差为8.67%。
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