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摘要
激光维持等离子体作为一种光照强度高、光谱范围宽、发光稳定的新型辐射光源，在光学检测（半导体晶圆检测）等领域具有重要的应用价值。本文回顾了激光维持等离子体研究的发展历程，介绍了其基本物理过程及数学描述方程，建立了基于多物理场耦合的二维流体模型。利用该模型研究了激光在等离子体中的传播过程，探讨了激光维持等离子体的初始演化过程、能量注入机制、稳态特性及不稳定性等关键问题。通过与高气压氙气等离子体实验结果的对比，确定了仿真模型的有效性。相关仿真结果有助于深入理解激光维持等离子体的底层物理机制，为实现光源系统设计、多参数优化提供理论依据。
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