本发明公开了一种基于PDMS/PUA相互复制的可变线密度光栅制作方法,其特征在于通过拉伸PDMS光栅来改变其光栅线密度,并通过夹具固定其变形,接着通过PUA紫外固化胶对变形后的PDMS光栅图案进行复制记录。最后再以PUA为新的模板,再一次将光栅反复制到PDMS上;经过以上步骤,可以在不重新制作模板的情况下,改变光栅的线密度,并且上述过程可以重复几次,从而再次提高PDMS光栅的线密度。本发明工艺需要的设备简单,具有成本低、操作简单、生产周期短等优点。