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摘要
针对ITER氚循环增压输运需求，自主研制了气体循环增压泵，包括主泵和后级泵。主泵采用斜盘式往复柱塞结构，3个往复柱塞完成五级压缩，达到粗真空和增压效果。后级泵采用摇摆柱塞式结构，以增加流量并降低极限真空，使入口压力达到50Pa的同时出口压力仍能达到0.4MPa。使用全金属双层波纹管完全隔离主轴系统和工作气腔，保持了输运气体的纯净度。使用金属C型密封圈作为气腔与外部环境的静密封，整机密封漏率低于1.0×10-7Pa·m3/s。测试结果表明，自研气体循环增压泵可以满足氚循环增压输运要求。
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