目的评定洁净室悬浮粒子的测量不确定度。方法对悬浮粒子的测量不确定度来源分析,建立数学模型,逐项评定悬浮粒子的不确定度的分量,合成标准不确定度,最后得出测量结果的扩展不确定度。结果粒径≥0.5μm的悬浮粒子数为(10490±2472)粒/m3,k=2;粒径≥5μm的悬浮粒子数为(923±296)粒/m3,k=2。结论悬浮粒子的测量不确定度主要来源是仪器的计量性能及试验重复性引起的不确定度,测量时应注意采样点的均匀性及代表性,多点采样,以减少不确定度,提高结果的可靠性。
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