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摘要
本发明公开了一种基于石墨烯的氮化镓外延层的剥离方法,主要解决现今剥离技术复杂,成本昂贵以及剥离的氮化镓薄膜质量不高的问题。其实现方案是：首先在抛光好的铜箔上CVD生长石墨烯；然后在蓝宝石衬底上转移多层石墨烯；接着再使用金属有机物化学气相沉积MOCVD的方法在转移了多层石墨烯的蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层；最后将生长的氮化镓外延层使用热释胶带剥离转移至目标衬底。本发明通过石墨烯缓解了衬底和外延层之间由于晶格失配产生的应力,而且通过外延层和石墨烯之间存在的较弱范德华力,使外延层易于被剥离并转移至目标衬底,可用于实现原衬底的重复利用,也可用于制作氮化镓自支撑衬底和柔性器件。
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