使用外腔半导体激光器对远距离微小振动的干涉测量

作者：江鹏飞; 张静娟; 赵伟瑞; 谢福增

来源：红外与激光工程, 2004, (03): 253-255.

• 干涉测量
• 微振动测量
• 外腔半导体激光器
• 窄线宽 Interferometry
• Microvibration measurement
• External-cavity semiconductor laser
• Narrow bandwidth

采用中心波长为942.4nm,线宽大于3.6nm的半导体激光器,使用Littrow型自准直光栅外腔结构,得到功率恒定、模式单一稳定、线宽优于1.2MHz(Δλ<3.5×10-6nm)的激光输出;使用正弦光频调制方式完成了对远距离的微小振动(纳米量级)的测量,对振动的辐值和频率都具备良好的探测效果。

• 单位
  中国科学院半导体研究所; 中国科学院研究生院