微驱动进给结构设计与模态分析

作者：陈爱民; 蔡英; 张明

来源：中国制造业信息化, 2009, 38(13): 23-25+29.

DOI：10.3969/j.issn.1672-1616.2009.13.007

• 微驱动
• 模态分析
• 驱动
• 有限元 Micro Feed
• Modal Analysis
• Drive
• Finite Element

介绍了用于半导体晶圆加工的超精密磨床微驱动进给结构的设计目标及设计原理,提出了微驱动进给结构模态分析的评价指标,对微驱动进给结构进行了模态分析,通过模态分析确认了微驱动进给结构的合理性。

• 单位
  无锡机床股份有限公司; 上海交通大学