三氯氢硅的制备及纯化技术研究进展

作者：缪光武; 王术成; 吴江平^*; 朱家栋; 王传钊; 郑瑞鹏; 曾群; 刘武灿

来源：低温与特气, 2023, 41(03): 1-6.

• 三氯氢硅
• 制备
• 纯化

三氯氢硅是一种非常重要的有机硅单体，被广泛应用于光伏及半导体领域。介绍了三氯氢硅常用制备方法及其优缺点，列举了三氯氢硅的纯化方法。在实际生产中，优先选择冷氢法制备三氯氢硅，该方法的关键是研制出高性能催化剂。根据三氯氢硅粗品的杂质种类，选择合适的纯化方法，得到高纯度的三氯氢硅产品。

• 单位
  浙江省化工研究院有限公司