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摘要
本发明公开了一种纳米结构陶瓷涂层及其原位制备方法与应用,所述制备方法包括以下步骤：1.对基体进行预处理,然后通过PVD在真空室中通入反应性气体,在基体表面形成陶瓷涂层；2.通过离子注入在陶瓷涂层表面均匀地向陶瓷涂层中注入金属元素,得到金属离子注入层,所述金属元素与陶瓷涂层中金属元素中的主要成分相同,并通过退火形成氮化物或氧化物,原位生成所述纳米结构陶瓷涂层。该技术可操作性强、可控性好,可以通过控制离子注入层的厚度控制纳米结构的形状,并控制其疏水性能,技术可实现性强,适用于Zn等金属薄膜在氧化或者氮化过程中出现体积收缩的材料。
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