高纯铜靶材微观组织与取向的EBSD分析

作者：张丽民; 张智慧; 左玉婷; 王书明; 杜风贞

来源：金属热处理, 2020, 45(01): 199-202.

DOI：10.13251/j.issn.0254-6051.2020.01.039

• 高纯铜靶
• 微观组织
• 晶粒尺寸
• 取向
• 孪晶

将99. 99%的高纯铜靶材进行了600℃、55%变形量的热轧,并分别在280、300和320℃退火2 h;采用EBSD技术对不同退火温度高纯铜靶材的晶粒尺寸、取向分布和孪晶等的演变进行了研究。结果表明:在600℃进行轧制,晶粒可充分破碎,相对于280℃退火,320℃退火的晶粒更为均匀,其孪晶含量降低了14%;轧制过程中,高纯铜易于形成<311>取向,随退火温度从280℃升高到320℃,<311>取向逐渐降低,<110>取向呈现出增强的趋势。说明320℃退火有利于得到均匀细小的晶粒、较低的孪晶含量和趋于一致的取向分布。