ZnO纳米棒在Si衬底上外延生长研究

作者：唐斌; 邓宏; 张强; 税正伟; 陈建勇; 赵春兰

来源：人工晶体学报, 2007, (03): 540-544.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2007.03.013

• ZnO纳米棒
• 外延生长
• 晶格常数
• 失配度 ZnO nanorods
• epitaxial growth
• crystal lattice constant
• mismatch

运用热蒸发ZnO粉末法,以金做催化剂,分别在Si(100)和Si(111)两种基片上外延生长了ZnO纳米棒(样品分别标为1#和2#)。通过X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析,结合ZnO与Si的晶格结构特征,从理论上得出了两个样品的晶格匹配关系。1#样品:[0001]ZnO∥[114]Si,[0001]ZnO∥[1-1-4]Si,[0001]ZnO∥[11-4]Si,[0001]ZnO∥[1-14]Si,失配度为1.54%;2#样品:[0001]ZnO∥[111]Si,[21-1-0]ZnO∥[11-0]Si,[1-21-0]ZnO∥[1-01]Si,[1-1-20]ZnO∥[0...

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学; 西南石油大学