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摘要
采用V型腔腔内二倍频和透镜聚焦方式腔外四倍频结构，基于Nd:YVO4准三能级激光系统914nm基频光级联非线性光学频率变换获得连续波228nm激光输出。在通常情况下，与脉冲运转方式相比，连续运转激光实现透镜聚焦腔外倍频需要较高的平均功率和较好的光束质量。为了获得较高457nm连续激光输出性能，理论计算V型腔分臂的长度变化对腔内不同位置光斑大小的影响；实验研究了V型腔不同分臂长度对LD端泵Nd:YVO4/LBO产生457nm激光输出性能的影响。最终，在泵浦功率为26W时，获得功率为2.2W的TEM00模连续波457nm激光输出，利用I类临界相位匹配BBO晶体对其进行腔外倍频，获得功率为6mW的228nm连续波深紫外激光，激光光斑呈椭圆形，一小时内功率稳定性为1.8%。
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