Zn_(1–x)Ca_xO薄膜的结构和光学性质研究

作者：汤引生; 谢谦

来源：新乡学院学报(自然科学版), 2013, (02): 112-113+122.

• 磁控溅射
• Zn1-xCaxO薄膜
• 光致发光 magnetron sputtering
• Zn1-xCaxO thin films
• photoluminescence

采用磁控溅射法在玻璃基片上制备了Zn1-xCaxO薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)和荧光光谱仪研究了Ca掺杂量对Zn1-xCaxO薄膜结构和光致发光特性的影响.结果显示:Zn1-xCaxO薄膜属于纤锌矿多晶结构;随着Ca含掺杂量的增加,薄膜衍射峰半高宽变大,薄膜质量变差;光致发光谱显示,随着Ca掺杂量的增加,紫外发光谱峰发生了蓝移.

• 单位
  商洛学院