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摘要
本发明公开了一种钢铁工件表面低温高效快速离子渗氮的表面处理方法。该方法采用金属清洗剂去除工件表面油污,将预处理后的工件固定在工件架上,关闭真空室门,并开动工件架旋转；真空室被抽到背底真空低于1x10～(-2)Pa；开启辅助加热装置,将含有工件的真空室升温至150-200℃；通入氩气,采用空心阴极离子源获得等离子束,真空室炉壁为阳极,工件架为阴极；导入工作气体,工件施加直流偏压600V-800V；获得含有工作气体成分的高离化率等离子体,整个试样被笼罩在该等离子体中；控制渗氮层厚度。本发明渗氮层生长速率可以达到速率30-50微米/小时。
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