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摘要
设计了一种基于纳米光栅泰伯效应的三轴微光机电系统（MOEMS）陀螺，详细阐述了纳米光栅三轴MOEMS陀螺的工作原理，建立了陀螺结构模型并分析其灵敏度。仿真结果表明：x,y,z轴陀螺结构灵敏度分别为42.76,43.63,76.79 nm/(（°）·s-1)。对双层光栅的衍射灵敏度仿真分析，得到双层光栅面内与离面模式下的衍射灵敏度分别为297.1,159.7 V/mm。最后，结合结构灵敏度与衍射灵敏度得到x,y,z轴陀螺的灵敏度大小分别为6.83,6.97,22.81 mV/(（°）·s-1)。
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