台积电南科18厂全面复产，不影响客户产品交期

来源：世界电子元器件, 2021, (08): 4.

<正>台积电南科晶圆18厂于7月29日因氧气槽污染,影响了5nm产线生产,在经过近日的清理后,已于8月2日全面恢复生产。台积电强调,此事件不会影响客户产品交期。台积电南科晶圆18厂5nm产线制程产线此前因厂商供应气体疑似受到污染当天,导致产线部分停工,台积电也即时调度其他气体供应,以确保产品品质。