半导体工厂使用多样之特殊气体，特殊有：腐蚀性、氧化性、易燃性、自燃性、毒性、窒息性，这样的气体如果发生泄漏而我们毫无察觉，是一件非常危险的事情；因此为维护厂内人员安全、环境保护、公司财产、需要设置完善的气体侦测系统，以防患未然，气体监控系统作为半导体工厂内最重要的生命安全系统，是最重要的FAB安全基石，但是侦测只是探测手段，不泄漏才是本质安全，重视侦测系统的同时，还要加强本质安全管理。
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