高温纯化设备真空气路优化解析

作者：吴忠举; 白枭; 王晓峰; 成洋洋; 许河山; 周社柱

来源：现代工业经济和信息化, 2022, 12(02): 226-228.

DOI：10.16525/j.cnki.14-1362/n.2022.02.087

• 三代半导体
• 高温纯化设备
• 纯化气路优化
• 高纯材料

通过对现有国产高温纯化设备气场气路进行分析，对发现的问题进行优化处理，并根据新方案设计制造气场分气盘和气路，使国产高温纯化设备达到国外先进设备的纯化指标，满足我国三代半导体对于高纯度材料的要求。