一种双周期耐磨抗菌和高韧性复合薄膜的制备方法

作者：李海涛; 陈宜; 程东海; 刘**; 刘频; 牛鹏亮; 王德

来源：2020-09-30, 中国, ZL202011058562.3.

一种制备方法,本发明是要解决现有镁合金、钛合金等金属基体表面硬度低、不耐磨,所制备的薄膜韧性差的问题。方法：一、基体前处理；二、镀膜前准备；三、制备Ti-Cu打底层；四、制备TiCuN中间层；五、制备Ti-Si-Cu缓冲层；六、制备TiCuSiN硬质层；七、按照上述三、四、五、六步骤反复一次,制备第二个周期的薄膜,得到两个周期共八层复合的薄膜,本方法将直流电源、偏压电源和射频电源结合在磁控溅射技术中,相对于其他周期类薄膜生产和制备的周期短、效率高、性能好,是一种低应力、高韧性、兼具有良好耐磨和抗菌的纳米级复合薄膜的制备方法。

• 单位
  南昌航空大学