双激光位移传感器组合测头的光轴共线调校法

作者：刘新波; 付鲁华; 王仲; 兰太吉

来源：光电子-激光, 2013, (07): 1363-1369.

DOI：10.16136/j.joel.2013.07.033

• 位姿调校
• 激光光轴
• 激光位移传感器
• 内尺寸测量 adjustment for position and posture
• laser axis
• laser displacement sensor
• inner dimension measurement

针对大型工件内尺寸高精度在机测量难题,介绍了一种双激光位移传感器组合定值比较测头,其功能可类比一把非接触式"内径千分尺",能实现快速、无损、高精度和自动化测量。测头在使用前,需保持两束激光的光轴重合,而分立的激光束是否满足这种位姿关系一般难以确定。针对此问题,分析了光轴位姿误差对检测精度的影响,给出了允差值,提出了一种激光光轴共线性测量、调整方法。分别利用已调校和未调校的测头对标准量块进行测量,证明了调校方案切实可行。

• 单位
  天津大学