科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
首先介绍直流电弧等离子体喷射法的原理以及气体循环系统的设计和其优缺点；其次详细介绍冷阱系统的设计，以及其工作原理；最后使用拉曼光谱和傅里叶红外变换光谱与光致发光光谱对比添加冷阱系统前后的金刚石薄膜的质量。结果表明：冷阱系统可以有效过滤循环气路中的热油气，避免杂质的掺入；在添加冷阱系统后，金刚石膜板内掺入杂质减少，金刚石拉曼峰半峰宽降低到6.76 cm~(-1)，接近于Ib型单晶金刚石；在添加冷阱系统之后自支撑金刚石膜板的晶体质量明显提高，光学透过率得到较大提升，在10.6 μm波长处的透过提升约3个百分点，达到68.4 %。
- 单位
