提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究

作者：谢耀; 赵永蓬; 王骐

来源：红外与激光工程, 2013, (08): 2036-2040.

• 毛细管
• 软X射线激光
• XRD
• Rowland谱仪
• 类氖氩 capillary
• soft X-ray laser
• Rowland spectrograph
• Ne-like Ar

为了提高毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光的强度,研究了工作介质中气体的掺杂对激光强度的影响。研究表明,在纯Ar中掺入适量的He显著地提高了激光的输出强度。通过对比在Ar中掺入Ne、N2以及Kr等其他气体的实验,系统地分析了He的掺入对等离子温度的影响,找到了在特定工作气压下最佳的掺杂比,有利于进一步提高毛细管放电46.9 nm软X射线激光的强度。在放电等离子体极紫外光刻(EUVL)光源研究过程中,也采用了在Xe中掺入适量He的方式以提高13.5 nm的输出强度。

• 单位
  哈尔滨工业大学; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室