多弧离子镀TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜的制备及性能研究

作者：蒙志林; 赵广彬; 葛高峰; 谭刚; 廖凤娟

来源：真空, 2013, (03): 66-69.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2013.03.008

• 多弧离子镀
• TiN/TiCrN/CrN
• 多元多层复合膜 multi-arc ion plating
• TiN/TiCrN/CrN
• multiple multi-layer composite film

采用XH-800多弧离子镀设备在硬质合金刀具表面制备TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜。利用XRD、SEM、显微硬度计、多功能材料表面性能测试仪等对其组织结构与性能进行了研究。结果表明:膜层表面均匀,未出现龟裂现象,色泽光亮度好;膜的相结构组成为TiN和Cr2N,随着Cr靶电流的增大,TiN的择优取向由(200)向(111)转变,膜层出现单质Cr;膜层厚度为5.02μm,具有明显多层特征;显微硬度2536 HV;结合力65 N。

• 单位
  西华大学