子孔径拼接干涉测试技术现状及发展趋势

作者：侯溪; **; 杨力; 吴时彬; 陈强

来源：光学与光电技术, 2005, (03): 50-53.

• 子孔径
• 光学测量
• 干涉计量 sub-aperture
• optical measurement
• interferometric metrology

子孔径拼接测试技术拓展了标准干涉仪的横向和纵向动态范围,能够以低成本、高分辨率检测大口径光学元件。按子孔径形状的不同,分别介绍了其工作原理,综述了该技术国内外20多年来的发展历史和技术现状,最后在分析比较的基础上提出了该技术研究的几个可能发展方向和应用前景。

• 单位
  中国科学院光电技术研究所; 中国科学院研究生院