设计一种超高加速度宏微运动平台,将运动过程分为五个工作状况,针对不同工况中的平台,采用有限元方法,展开静态受力分析,获得相应变形和应力分布云图,对其相关载荷参数影响规律进行探究。进一步通过动态特性分析计算,获得前六阶固有频率和振动模态,其中第一阶固有频率高于超高加速度宏微运动平台驱动频率,避免了系统共振的发生。利用锤击振动测试实验进行验证,结果证明模拟仿真数据的正确性。研究结果对微电子制造产业飞速发展及其设备更新换代具有十分重要的意义。
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