MgB2/Ta多层膜的制备及性质

作者：周章渝; 侯雪; 杨晓玲; 陈会; 王松; 卢海秋; 肖植芬; 傅兴华

来源：低温物理学报, 2016, 38(06): 65-68.

DOI：10.13380/j.cnki.chin.j.lowtemp.phys.2016.06.011

• MgB2超导薄膜
• 钽薄膜
• 多层膜
• 混合物理化学气相沉积法
• 磁控溅射技术

本文应用磁控溅射技术(MS)和混合物理化学气相沉积法(HPCVD)在单晶Al2O3基底上制备MgB2/Ta多层膜.通过扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)和标准四线法对MgB2/Ta试样的表面形貌、晶体结构、超导特性及断面结构进行了测量研究.结果表明MgB2/Ta多层膜结构清晰,超导薄膜显示出良好的超导特性.

• 单位
  贵州大学