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摘要
为了增大加速度传感器的测量频率范围,优化其动态特性,在传感器结构设计中应尽可能提高传感器的固有频率。针对一种四悬臂梁压电式加速度传感器,通过理论计算与有限元仿真对传感器结构进行模态分析,研究悬臂梁结构参数对传感器固有频率的影响,并根据分析结果提出结构优化方案。仿真结果表明,在仅改动悬臂梁的结构参数时,传感器的固有频率随着悬臂梁长度的增加而减小,随着悬臂梁宽度、厚度的增加而增大,且悬臂梁长度对固有频率的影响大于悬臂梁宽度和厚度。通过优化悬臂梁的长宽比、增加悬臂梁的局部厚度等方式,可以使传感器的固有频率得到显著提高。
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