多晶硅定向生长的数值模拟研究

作者：罗玉峰; 胡云; 张发云; 廖宾; 张斌

来源：铸造技术, 2011, 32(10): 1368-1371.

• 多晶硅
• 定向凝固
• 数值模拟
• 温度场

利用多物理场有限元软件COMSOL Multiphysics3.5(a)对多晶硅定向凝固过程进行数值模拟,获得了定向凝固过程中加热熔化和结晶过程的温度场分布。通过对模拟结果的分析,得到了多晶硅熔化过程温度分布和结晶时固液界面形状,为后续生产实践中工艺方案的优化及缺陷分析等提供重要的理论依据。

• 单位
  新余学院; 江西省高等学校硅材料重点实验室; 南昌大学机电工程学院