摘要

竖向密集穿孔楼板是实现电子厂房高洁净度和防微振功能的重要技术途径,在武汉新芯12英寸集成电路生产厂房施工中采用了不拆式定型模板取代顶棚和孔壁的环氧涂层,实现了洁净要求的防尘和防微振效果,取得了明显的社会效益和经济效益。