多金属层诱导透射紫外“日盲”探测成像滤光片设计与低温制备研究

作者：尚鹏; 熊津平; 季一勤; 刘华松; 刘丹丹; 庄克文; 刘旭; 沈伟东

来源：红外与激光工程, 2018, 47(09): 185-191.

• 光学薄膜
• 电子束蒸发
• 紫外诱导透射
• Al/SiO2

基于SiO2/Al/SiO2三层夹层结构,结合使用多角度椭圆偏振谱和透射光谱精确反演获得了薄金属Al层光学常数,并研究分析了Al光学常数随膜层厚度的变化;在此基础上采用导纳匹配法,理论优化获得了三腔金属诱导透射紫外滤光膜,并系统分析了Al和SiO2介质匹配层制备误差对紫外滤光膜光谱性能的影响;进一步采用低温、高真空Al、SiO2薄膜生长工艺,成功获得了峰值波长位于218 nm附近,峰值透过率23.1%,带宽32 nm,在280 nm、318 nm波段的透过率分别约为0.5%和0.04%,400700 nm、8001 100 nm波段的截止度分别可达5.0 OD、4.5 OD的高性能三腔诱导透射紫外滤光片样品。相关研究结果对于高性能多腔诱导透射"日盲"紫外滤光片的设计与制备具有很好的指导意义。

• 单位
  浙江大学; 天津津航技术物理研究所; 现代光学仪器国家重点实验室