日立新一代冷场和热场发射扫描电镜 SU8600&SU8700

来源：电子显微学报, 2022, 41(05): 463.

<正>SU8600&SU8700作为日立最新的面向新时代的FE-SEM,在日立电镜贯有的高图像质量和高稳定性的基础上,增加了包括智能辅助软件、自动数据获取等功能,大大提升了高通量、自动数据获取的能力。SU8600作为高分辨冷场扫描电镜,可以实现低加速电压下的高分辨观察,对易损伤、易荷电样品的观察更加有利,同时可以获取更多样品的表面细节,提高元素分析等的空间分辨率。SU8700作为大束流热场扫描电镜,具有无漏磁混合透镜和6mm能谱工作距离,有利于提高分析效率。