涡轮分子泵冷却技术发展研究

作者：姚松勤; 常轩; 常鑫

来源：现代工业经济和信息化, 2022, 12(07): 263-267.

DOI：10.16525/j.cnki.14-1362/n.2022.07.103

• 涡轮分子泵
• 冷却
• 散热

简要介绍了涡轮分子泵的结构及其工作原理，主要对涡轮分子泵中关于冷却技术的工程实例做了相应的改进、分析，通过对冷却技术的方案设计改进，提高涡轮分子泵的冷却效果。

• 单位
  国家知识产权局