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摘要
设计和研究了一种带有高压驱动电路的多环盘式硅微陀螺仪(DRG)。该陀螺仪具有MEMS嵌套环结构，工作在三波腹(n=3)的振动模态下，主振型和从振型之间具有更小的频率裂解。系统采用双闭环测控电路驱动，结构简单，具有良好的稳定性和较大的带宽。其中刚度调谐和正交误差校正所需要的高压直流电由小型化的Boost升压电路提供。样机测试结果表明闭环Boost升压电路精度高，对陀螺仪的零偏不稳定性影响小。陀螺仪具有高品质因数(Q=36 503)、低非线性度(314×10-6)、低角度随机游走(■)以及低零偏不稳定性(2.022 9°/h)。
- 单位
