一种氧化物发光场效应晶体管

作者：兰林锋; 吴永波; 林奕龙; 彭俊彪

来源：2020-11-25, 中国, ZL202011344363.9.

一种氧化物发光场效应晶体管,设置有基板、栅极、绝缘层、有源层、源极和漏极,以掺有稀土元素的氧化物半导体材料作为有源层。所述稀土元素为Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm或者Yb中的至少一种。本发明的氧化物发光场效应晶体管,在具有加栅压和漏压时能够实现紫外、可见和红外区域的电致发光。而且本发明的氧化物发光场效应晶体管因为稀土元素的掺杂,从而具有迁移率较高,工艺温度低,良好的电学性能及良好的光学透过性等优势。

• 单位
  华南理工大学